2024-09-18 09:34 光刻机概念集体高开。张江高科、同飞股份、海立股份竞价涨停，富乐德、蓝英装备涨超10%，东方嘉盛、国林科技、京华激光、凯美特气。波长光电等涨超5%。消息面上，工信部印发《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》。 工业和信息化部印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》的通知。目录中的“集成电路生产装备”板块列出了氟化氪光刻机和氟化氩光刻机。其中，氟化氩光刻机具有65纳米以下的分辨率和8纳米以下的套刻精度，能够支持28纳米工艺芯片的量产。这不仅是中国在半导体设备领域的一次重大飞跃，也表明了中国在未来几年内有可能达到国际先进水平的决心。
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