七星电子(002371):国内首台等离子去胶机在七星电子面世
近日,七星电子(002371)半导体装备家族再添新丁,公司全资子公司北京北方微电子发布了新产品IDE300设备,应用于先进封装倒装的等离子去胶工艺.作为国内首台自主研发的等离子去胶设备,首批产品已成功交付客户. 此次北方微电子推出的IDE300设备,是在原有12吋刻蚀设备的技术基础上,通过逐步扩展工艺应用而开发的新产品.该机台可兼容8吋和12吋晶圆, 腔室数量可以灵活配置,不但能满足用户对产线高效,低损,高均匀性的工艺要求,也最大限度的满足了其灵活的产品及产能配置要求. 作为先进封装Bumping工艺的必备设备,等离子去胶设备丰富了公司在12吋先进集成电路制造设备领域的产品线. |
